儀器介紹
橢圓偏振法測量的原理很早就已提出，相應的測試方法和設備也不斷地被改進和創新，使得橢圓偏振法成為重要的測試手段，并廣泛地應用在光學、材料、生物、醫學等各個領域。其中測量薄膜材料的厚度、折射率和消光系數是橢圓偏振法基本和重要的應用之一 。
SGC-2自動橢圓偏振測厚儀產品特點
· 儀器采用消光式橢圓偏振方式測量
· 精度高、自動控制
· 光源采用氦氖激光，波長精度高
· 儀器采用USB接口與電腦連接
· 配套軟件對采樣數據具有多種處理方式，適用于不同需要
· 軟件有完整版及學生版兩種版本，適于教學要求
SGC-2自動橢圓偏振測厚儀參數
| 測量范圍： | 1nm-400nm |
| 測量ZUI小值： | 小于等于1nm |
| 鍍膜折射率范圍： | 1.300-10.000 |
| 入射角： | 40°-90° |
| 方位角讀數范圍： | 0°-180° |
| 測量精度： | ±5nm |
| 厚度： | 小于等于10nm |
